光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析

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	光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析
	彭海峰 ; 孙振
刊名	光子学报
	2014
期号	4 页码:113-117
关键词	光刻物镜光学元件精密轴向调节面形分析柔顺铰链固有频率特性
中文摘要	柔性铰链与高准确度驱动器的结合是实现光学元件轴向精密调节的重要方法.本文介绍了一种采用柔性铰链的轴向精密调节机构,推导并得出了其实现精密调节的原理.通过对应用柔性调节机构的一种典型光机系统的刚度分析,得到在不超过柔性铰链材料屈服应力情况下,光学元件的最大轴向位移可以达到200μm以上;同时,对一种典型参量的柔性结构做了模态分析,得到其一阶固有频率为185.1Hz,证明了调节机构的固有频率满足工作要求.分析了驱动力在此种轴向调整机构中对镜片面形的影响,结果表明:调整机构在接近最大允许驱动力作用下对镜片面形影响为4.41nm,说明其对光学元件的面形影响较小.该研究结果为柔性光学元件轴向调节机构的应用提供了有力依据.
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43233]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	彭海峰,孙振. 光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析[J]. 光子学报,2014(4):113-117.
APA	彭海峰,&孙振.(2014).光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析.光子学报(4),113-117.
MLA	彭海峰,et al."光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析".光子学报 .4(2014):113-117.