大口径深焦比Hindle球面镜曲率半径精确测量

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	大口径深焦比Hindle球面镜曲率半径精确测量
	李俊峰
刊名	电子测量与仪器学报
	2014-12-15
期号	12 页码:1401-1407
关键词	Hindle 球面反射镜曲率半径三坐标测量
中文摘要	Hindle法无像差法检测凸双曲面中,大口径深焦比球面反射镜的曲率半径测量是关键技术之一。提出了一种基于激光干涉仪、三坐标测量臂及标准定标球相结合测量球面曲率半径的方法。在球面镜面形干涉检验光路中引入一个标准定标球体,将其球心与检测系统的焦点重合,应用FARO测量臂对标准定标球体球心和被检球面镜镜面点坐标进行采样,从而计算球面镜曲率半径值。对一个口径Φ800 mm、设计半径为861.8 mm的球面标准反射镜进行曲率半径测量及精度分析,实测曲率半径为862.036 mm,系统的最大测量误差为±0.036 mm,测量不确定度为±0.015 mm;经Zemax软件分析,该测量误差对双曲面检测精度的影响仅为精度要求的3.4%,验证了这种球面半径测量方法的有效性及实用性。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43177]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	李俊峰. 大口径深焦比Hindle球面镜曲率半径精确测量[J]. 电子测量与仪器学报,2014(12):1401-1407.
APA	李俊峰.(2014).大口径深焦比Hindle球面镜曲率半径精确测量.电子测量与仪器学报(12),1401-1407.
MLA	李俊峰."大口径深焦比Hindle球面镜曲率半径精确测量".电子测量与仪器学报 .12(2014):1401-1407.