现代军用MEMS惯性传感器技术进展

	现代军用MEMS惯性传感器技术进展
	李红光
刊名	传感器与微系统
	2014-08-19
期号	8 页码:42101
关键词	微电子机械系统惯性传感器 MEMS陀螺 MEMS加速计 MEMS惯性测量仪小型惯性测量仪集成光波导陀螺
中文摘要	现代化军事需求小型惯性传感器。技术已成熟的惯性导航和制导系统包括机械陀螺、环形激光陀螺(RLGs)、光纤陀螺(FOGs)以及半球共振陀螺(HRGs)。现在主要用于军事的还有微机电系统(MEMS)陀螺仪和加速计。采用光子晶体光纤(PCFs)的干涉光纤陀螺(IFOGs),即PC—IFOGs。重点阐述MEMS/集成光(IO)波导惯性传感器技术进展。分析小型陀螺仪和加速计技术发展前景及在未来快速反应,精确打击中的作用。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42923]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	李红光. 现代军用MEMS惯性传感器技术进展[J]. 传感器与微系统,2014(8):42101.
APA	李红光.(2014).现代军用MEMS惯性传感器技术进展.传感器与微系统(8),42101.
MLA	李红光."现代军用MEMS惯性传感器技术进展".传感器与微系统 .8(2014):42101.