有机电致发光器件的新型薄膜封装技术研究

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	有机电致发光器件的新型薄膜封装技术研究
	骆杨 ; 李天骄 ; 段羽
刊名	光电子.激光
	2014-05-14
期号	5 页码:840-844
关键词	薄膜封装水汽透过率(WVTR) 原子层沉积(ALD)
中文摘要	针对有机电致发光器件(OLED)在空气中水汽和O2作用下寿命下降的问题,提出一种对OLED进行薄膜封装方法。封装薄膜由电子束蒸镀Al2O3薄膜和原子层沉积(ALD,atomic layer deposition)Al2O3薄膜相结合形成。利用Ca薄膜电学测试方法测定封装薄膜的水汽透过率(WVTR)。具体实现方法是,采用玻璃作为衬底,在100nm的Al电极上蒸镀200nm的Ca膜,然后对整个系统进行薄膜封装,只留出Al电极的一部分作为探针接触电极。实验发现,采用电子束蒸镀结合ALD的Al2O3薄膜封装,Ca薄膜变成透明的时间比未封装或采用单一结构封装得到了延长。为了检验薄膜封装效果,制作了一组绿光OLED,器件结构为ITO/MoOX(5nm)/mMTDATA(20nm)/NPB(30nm)/Alq3(50nm)/LiF(1nm)/Al,实验结果表明,本文提出的薄膜封装方法对器件进行封装,器件的寿命得到了延长。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42858]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	骆杨,李天骄,段羽. 有机电致发光器件的新型薄膜封装技术研究[J]. 光电子.激光,2014(5):840-844.
APA	骆杨,李天骄,&段羽.(2014).有机电致发光器件的新型薄膜封装技术研究.光电子.激光(5),840-844.
MLA	骆杨,et al."有机电致发光器件的新型薄膜封装技术研究".光电子.激光 .5(2014):840-844.