极紫外光学器件辐照污染检测技术

	极紫外光学器件辐照污染检测技术
	王珣 ; 金春水 ; 匡尚奇 ; 喻波
刊名	中国光学
	2014-02-14
期号	1 页码:79-88
关键词	极紫外光刻碳污染检测光纤椭偏仪
中文摘要	总结并讨论了极紫外光刻技术中,有关极紫外光学器件受辐照污染的在线检测方法。简要介绍了极紫外光刻系统的原理、反射镜膜层结构以及表面污染产生的机理;指出光刻系统中在线检测的技术要求;分析了目前几种主要表面检测技术的特点;给出了每种方法在极紫外光学系统中的应用潜力;最后,指出光纤椭偏仪在极紫外光学系统的在线表面污染检测中具有良好的应用前景。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42622]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王珣,金春水,匡尚奇,等. 极紫外光学器件辐照污染检测技术[J]. 中国光学,2014(1):79-88.
APA	王珣,金春水,匡尚奇,&喻波.(2014).极紫外光学器件辐照污染检测技术.中国光学(1),79-88.
MLA	王珣,et al."极紫外光学器件辐照污染检测技术".中国光学 .1(2014):79-88.