题名 | 用于非球面检测的计算全息图制作研究 |
作者 | 赵龙波 |
学位类别 | 硕士 |
答辩日期 | 2014-11 |
授予单位 | 中国科学院大学 |
导师 | 张学军 |
关键词 | 计算全息图 非球面检测 激光直写 反应离子刻蚀 衍射光学元件加工 |
学位专业 | 机械制造及其自动化 |
中文摘要 | 计算全息图(Computer Generated Hologram,CGH)是非球面加工与检测过程中的关 键元件,利用CGH检测非球面的面形误差是一种高精度的独立光学补偿检验方法。CGH 的制作精度直接决定了其出射波前的精度,间接决定了检测面形的精度,高精度的CGH制 作工艺具有重要的研究意义。 CGH的制作通常包含激光直写光刻工艺与反应离子刻蚀工艺两个部分,并随着工艺技 术的发展,其波前精度逐步提高,论文对CGH制作中的若干关键问题进行了深入讨论和研 究。 论文主要包括四个部分: 1. CGH制作误差对波前精度的影响; 2. 激光直写技术与反应离子刻蚀技术; 3. 振幅型CGH的评价标准与制作; 4. 位相型CGH的评价标准与制作。 形成了完整的CGH评价标准,及制作工艺流程,并成功用于多项工程 应用。 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 学位论文 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/44722] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵龙波. 用于非球面检测的计算全息图制作研究[D]. 中国科学院大学. 2014. |
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