| 磁控溅射制备CrSiN涂层的结构及高温氧化性能 | |
| 许向敏 ; 张豪 ; 周子皓 ; 罗飞飞 ; 多树旺 ; 李美栓 | |
| 2014 | |
| 会议名称 | 第十八届全国高技术陶瓷学术年会 |
| 会议日期 | 2014 |
| 会议地点 | 中国广东清远 |
| 关键词 | 非平衡磁控溅射 CrSiN 抗高温氧化性能 涂层结构 合金基体 表面形貌 氧化过程 能谱仪 扫描电子显微镜 微观结构 |
| 页码 | 80 |
| 中文摘要 | <正>采用闭合场非平衡磁控溅射技术在GH169高温合金基体上沉积了CrSiN涂层,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、能谱仪和划痕仪研究了对Si的添加对CrN涂层微观结构、表面形貌、组成及性能的影响,同时对CrSiN涂层在800℃和900℃时的热稳定和抗高温氧化性能进行了研究。分析结果表明:Si的加入使CrSiN涂层结构不同于CrN,能够形成非晶SiN相导致膜基结合力提高。氧化过程中,Cr、Si与O反应 |
| 会议主办者 | 中国硅酸盐学会特种陶瓷分会 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/73737]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许向敏,张豪,周子皓,等. 磁控溅射制备CrSiN涂层的结构及高温氧化性能[C]. 见:第十八届全国高技术陶瓷学术年会. 中国广东清远. 2014. |
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