IC装备控制系统平台技术研究

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	IC装备控制系统平台技术研究
	刘明哲; 徐皑冬; 于海斌; 王宏
	2008
会议名称	7th World Congress on Intelligent Control and Automation
会议日期	June 25-27, 2008
会议地点	Chongqing, China
关键词	集成电路控制系统半导体 SEMI标准
其他题名	Research of Control System Platform Technology for IC Equipment
页码	7393-7397
中文摘要	半导体集成电路的生产制造向300mm晶圆的方向发展，IC装备控制系统不但要完成设备自身的任务调度、物料传输、工艺控制，还要考虑企业级的信息集成、生产调度和行业标准。本文分析了半导体制造流程和控制需求，提出了一种框架式、模块化的IC 装备控制系统平台模型，旨在完成系统的控制功能的同时，使得半导体设备的控制具有更大的灵活性、伸缩性、企业级交互能力，并符合行业标准。
英文摘要	With the development of road to 300mm semiconductor wafer manufacturing, IC equipment control system not only implement its task scheduling, material transfer and process control, we must also consider the enterprise information integration, production scheduling and industry standards. This paper analyzes the semiconductor manufacturing process, control requirements, and presents a framework-style, modular IC equipment control system platform model, aimed at the complete system control functions at the same time, making the control of the semiconductor equipment greater flexibility, scalability, enterprise-class interactive capabilities, and in accordance with industry standards.
收录类别	EI ; CPCI（ISTP）
产权排序	1
会议主办者	Chongqing Univ, Chongqing Inst Technol, Chongqing Univ Sci & Technol, Xihua Univ, SW Univ Sci & Technol, IEEE Robot & Automat Soc, IEEE Control Syst Soc, Beijing Chapter, Chinese Assoc Automat, Chinese Assoc Artificial Intell, Natl Nat Sci Fdn, Chongqing Municipal Sci & Technol Comm, Chongqing Municipal Assoc Sci & Technol, KC Wong Educ Fdn
会议录	2008 7TH WORLD CONGRESS ON INTELLIGENT CONTROL AND AUTOMATION, VOLS 1-23
会议录出版者	IEEE
会议录出版地	NEW YORK
语种	中文
ISBN号	978-1-4244-2113-8
WOS记录号	WOS:000259965706007
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.sia.cn/handle/173321/8093]
专题	沈阳自动化研究所_工业信息学研究室_工业控制系统研究室
推荐引用方式 GB/T 7714	刘明哲,徐皑冬,于海斌,等. IC装备控制系统平台技术研究[C]. 见:7th World Congress on Intelligent Control and Automation. Chongqing, China. June 25-27, 2008.