| 厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法 | |
| 梁静秋 梁中翥 郑莹 | |
| 2014-11-19 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | 201210255733.0 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法，包括如下步骤：制作2N个原始基片并对其进行清洗处理；在原始基片上光刻出所需掩膜图形，然后沉积薄膜材料，剥离光刻胶，形成膜层结构；在基底上光刻出掩蔽图形，并沉积一层厚度小于h的膜层；分别将前N个倒置的带结构基片定位在基底特定位置上，并固定在一起，形成多级微反射镜；在多级微反射镜上表面沉积增反射膜层。本发明有效提高了阶梯表面粗糙度的控制精度，且阶梯垂直高度的实时监测，使得横向尺寸精度高，工艺可控性强。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2014-11-19 |
| 语种 | 中文 |
| 专利证书号 | 1522420 |
| 专利申请号 | 201210255733.0 |
| 专利代理 | 张伟 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42125]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋 梁中翥 郑莹. 厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法. 201210255733.0. 2014-11-19. |
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