Si过渡层类金刚石薄膜界面优化及其性能研究

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	Si过渡层类金刚石薄膜界面优化及其性能研究
	王军军; 蒲吉斌; 张广安; 王立平
刊名	摩擦学学报
	2014
卷号	34 期号:5 页码:531-537
关键词	类金刚石薄膜等离子体化学气相沉积摩擦学性能 diamond-like carbon films plasma enhanced chemical vapor deposition tribological property
ISSN号	1004-0595
通讯作者	王立平
中文摘要	本文中利用等离子体化学气相沉积法，制备了具有Si过渡层的DLC薄膜．利用俄歇深度分析的方法，研究了Si过渡层沉积条件如电压、气压和气源对Si过渡层的影响；利用薄膜应力分布测试仪和划痕仪，研究了不同沉积条件下制备的Ｓｉ过渡层对类金刚石薄膜内应力和附着力特性的影响；利用摩擦磨损仪，分析比较了薄膜的摩擦性能．研究表明：DLC薄膜与基底之间形成(Fe+Si+O混合层)/Si/(Si+O混合层)过渡层．过渡层制备过程中，气压、电压和Ar/SiH₄比例升高，会导致过渡层中Si层厚度的减小．这种过渡层在一定范围内提高了DLC薄膜与基体之间的结合力，缓解了因薄膜与基底间不匹配而产生的应力．在大气环境下，优化的DLC薄膜与GCr15钢对偶的摩擦系数及磨损率可低至0.02和8.2×10^-14 m³/(N·m).
学科主题	材料科学与物理化学
收录类别	EI&CSCD
资助信息	国家自然科学基金(11172300)
语种	中文
公开日期	2014-12-30
内容类型	期刊论文
源URL	[http://210.77.64.217/handle/362003/7091]
专题	兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	王军军,蒲吉斌,张广安,等. Si过渡层类金刚石薄膜界面优化及其性能研究[J]. 摩擦学学报,2014,34(5):531-537.
APA	王军军,蒲吉斌,张广安,&王立平.(2014).Si过渡层类金刚石薄膜界面优化及其性能研究.摩擦学学报,34(5),531-537.
MLA	王军军,et al."Si过渡层类金刚石薄膜界面优化及其性能研究".摩擦学学报 34.5(2014):531-537.