紫外闪耀全息光栅 | |
李永贵 ; 李永贵 ; 付新定 ; 沈虹 ; 方红利 ; 刘桂芹 | |
1989 | |
获奖类别 | 中科院科技进步奖 |
获奖等级 | 三等奖 |
关键词 | 全息光栅 |
中文摘要 | 由长春光机所和上海治金所共同研制的紫外闪耀全息光栅具有杂光低、分辨率高、 线、衍射效率高、是低杂光高分辨率仪器中的理想出光元件。该光栅是用全息干涉法形成掩膜,用反映离子蚀刻法在石英基底上形成全息闪耀光栅槽形。是一种新型的全息光栅。该种光栅的研制成功是光栅制造技术的一个新的突破,填补了国内空白,其衍射效率、分辨本领、衍射波面编差等主要技术指标达到了国外八十代同类光栅水平。该成果获1989年中科院科技进步三等奖。 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 成果 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/41641] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_成果 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李永贵,李永贵,付新定,等. 紫外闪耀全息光栅. 中科院科技进步奖:三等奖. 1989. |
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