XPS-AES联用技术对Pt-Co,Cu-Au和Cu-Ag合金薄膜的定量表征方法研究

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	XPS-AES联用技术对Pt-Co,Cu-Au和Cu-Ag合金薄膜的定量表征方法研究
	李连中 ; 卓尚军 ; 申如香 ; 钱荣 ; 高捷
刊名	光谱学与光谱分析
	2013-11-01
卷号	33 期号:11 页码:3128
其他题名	Quantitative Surface Analysis of Pt-Co,Cu-Au and Cu-Ag Alloy Films by XPS and AES
通讯作者	卓尚军
中文摘要	俄歇电子能谱(AES)在表面微区元素分析方面优势明显，但是受基体效应的影响，其定量分析，特别是非单质材料表面元素含量分析的准确度差，X射线光电子能谱(XPS)的定量分析准确度较高。为了降低AES定量分析的误差，将XPS和AES两种分析技术联用，选择Pt-Co，Cu-Au和Cu-Ag三种二元合金样品进行了研究，利用样品的XPS定量分析结果对AES的定量分析所用相对灵敏度因子进行修正，将修正后的相对灵敏度因子用于其他不同组分比的样品的定量分析，以验证其分析准确性。结果表明，修正后的灵敏度因子在用于AES定量分析时相对误差明显降低，分析相对误差小于10%。为了解决AES定量分析在积分谱处理形式下选峰困难的问题，将积分谱进行微分化处理，并修正了微分谱的处理形式下的相对灵敏度因子，AES的定量分析相对误差降低到小于9%，表明在两种处理形式下都能得到较为准确的定量结果。修正后的相对灵敏度因子包含了基体效应尤其是背散射效应的影响，从而有助于降低AES定量分析的误差。说明借助XPS提高AES定量分析准确度的研究方法具有一定的可行性。
学科主题	分析化学
语种	中文
公开日期	2014-12-18
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sic.ac.cn/handle/331005/4922]
专题	上海硅酸盐研究所_无机材料分析测试中心_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	李连中,卓尚军,申如香,等. XPS-AES联用技术对Pt-Co,Cu-Au和Cu-Ag合金薄膜的定量表征方法研究[J]. 光谱学与光谱分析,2013,33(11):3128.
APA	李连中,卓尚军,申如香,钱荣,&高捷.(2013).XPS-AES联用技术对Pt-Co,Cu-Au和Cu-Ag合金薄膜的定量表征方法研究.光谱学与光谱分析,33(11),3128.
MLA	李连中,et al."XPS-AES联用技术对Pt-Co,Cu-Au和Cu-Ag合金薄膜的定量表征方法研究".光谱学与光谱分析 33.11(2013):3128.