具有复合空间层的氮化镓场效应晶体管结构及制作方法 | |
王翠梅 ; 王晓亮 ; 彭恩超 ; 肖红领 ; 冯春 ; 姜丽娟 ; 陈竑 | |
专利国别 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院半导体研究所 |
学科主题 | 半导体材料 |
公开日期 | 2013-05-22 |
申请日期 | 2013-02-20 |
专利申请号 | CN201310054863.2 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25815] ![]() |
专题 | 半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王翠梅,王晓亮,彭恩超,等. 具有复合空间层的氮化镓场效应晶体管结构及制作方法. |
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