| 一种制备GaSb基分布反馈激光器中光栅的系统及方法 | |
| 王永宾 ; 张晶 ; 徐云 ; 宋国锋 ; 陈良惠 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 学科主题 | 半导体材料 |
| 公开日期 | 2012-07-04 |
| 申请日期 | 2012-02-17 |
| 专利申请号 | CN201210037646.8 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25360]  |
| 专题 | 半导体研究所_纳米光电子实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王永宾,张晶,徐云,等. 一种制备GaSb基分布反馈激光器中光栅的系统及方法. |
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