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	一种挡光式微机电可变光衰减器
	毛旭 ; 吕兴东 ; 魏伟伟 ; 杨晋玲 ; 杨富华
专利国别	中国
专利类型	发明
权利人	中国科学院半导体研究所
学科主题	微电子学
公开日期	2014-02-12
申请日期	2013-10-25
专利申请号	CN201310510617.3
内容类型	专利
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25494]
专题	半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式 GB/T 7714	毛旭,吕兴东,魏伟伟,等. 一种挡光式微机电可变光衰减器.

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