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	一种便携式可调节H型光路平行校准装置
	杨盈莹 ; 林学春 ; 赵伟芳 ; 王文婷 ; 伊肖静 ; 张玲 ; 于海娟
专利国别	中国
专利类型	发明
权利人	中国科学院半导体研究所
学科主题	半导体器件
公开日期	2013-09-04
申请日期	2013-06-05
专利申请号	CN201310221279.1
内容类型	专利
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25586]
专题	半导体研究所_全固态光源实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	杨盈莹,林学春,赵伟芳,等. 一种便携式可调节H型光路平行校准装置.

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