| 利用自组装小球制作用于光刻版的金属网格模板的方法 | |
| 杜成孝 ; 董鹏 ; 郑海洋 ; 魏同波 ; 严清峰 ; 吴奎 ; 张逸韵 ; 王军喜 ; 李晋闽 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 学科主题 | 半导体器件 |
| 公开日期 | 2013-05-08 |
| 申请日期 | 2013-01-10 |
| 专利申请号 | CN201310009072.8 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25664]  |
| 专题 | 半导体研究所_中科院半导体照明研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜成孝,董鹏,郑海洋,等. 利用自组装小球制作用于光刻版的金属网格模板的方法. |
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