截面为多边形的晶棒及衬底片表面取向的标识方法 | |
王文军 ; 李晋闽 ; 王军喜 ; 马平 ; 纪攀峰 ; 郭金霞 ; 孔庆峰 ; 胡强 | |
专利国别 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院半导体研究所 |
学科主题 | 半导体器件 |
公开日期 | 2014 |
申请日期 | 2013-09-26 |
专利申请号 | CN201310444715.1 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25519] ![]() |
专题 | 半导体研究所_中科院半导体照明研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王文军,李晋闽,王军喜,等. 截面为多边形的晶棒及衬底片表面取向的标识方法. |
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