| 一种带有大面积纳米图形的蓝宝石模板制作方法 | |
| 杜成孝 ; 魏同波 ; 吴奎 ; 王军喜 ; 李晋闽 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 学科主题 | 半导体器件 |
| 公开日期 | 2014-01-29 |
| 申请日期 | 2013-10-28 |
| 专利申请号 | CN201310514197.6 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25482]  |
| 专题 | 半导体研究所_中科院半导体照明研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜成孝,魏同波,吴奎,等. 一种带有大面积纳米图形的蓝宝石模板制作方法. |
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