蓝宝石纳米碗阵列图形衬底的制作方法 | |
吴奎 ; 魏同波 ; 闫建昌 ; 刘喆 ; 王军喜 ; 张逸韵 ; 李璟 ; 李晋闽 | |
专利国别 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院半导体研究所 |
学科主题 | 半导体器件 |
公开日期 | 2012-09-26 |
申请日期 | 2012-06-04 |
专利申请号 | CN201210180973.9 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25237] ![]() |
专题 | 半导体研究所_中科院半导体照明研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴奎,魏同波,闫建昌,等. 蓝宝石纳米碗阵列图形衬底的制作方法. |
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