| 题名 | 基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器的制作 |
| 作者 | 罗振宇 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2012-06-02 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 陈德勇 |
| 关键词 | MEMS 谐振式压力传感器 电磁激励 SOI 牺牲层释放 |
| 学位专业 | 电子与通信工程 |
| 学科主题 | 传感器 |
| 公开日期 | 2012-06-09 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/9760]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 罗振宇. 基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器的制作[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2012. |
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