| 题名 | 新型真空微电子压力传感器的研制 |
| 作者 | 陶新昕 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 1998-08-25 |
| 授予单位 | 中国科学院电子学研究所 |
| 授予地点 | 中国科学院电子学研究所 |
| 导师 | 夏善红 |
| 关键词 | 真空微电子 压力传感器 场发射阴极阵列 |
| 学位专业 | 物理电子学与光电子学 |
| 中文摘要 | 本文研究的真空微电子压力传感器是近来发展起来的新型压力传感器，与其他传感器相比，它具有灵敏度度、温度稳性好、体积小、功耗低、抗辐射、制造工艺与VLSI工艺相兼容等特点。在计算机模拟计算的基础上，作者提出了新型结构的敏感膜－阴极复合型真空微电子压力传感器，并对其结构尺寸进行了优化设计。作者制出了压力传感器的模型，并对其场发射阵列阴极的电流特性进行了测量，测量结果与FN公式相符合，器件的开启电压为15V、32V时，平均每个尖锥产生0.23 μA的发射电源，电流密度为0.118A/cm~2。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2011-07-19 |
| 页码 | 53 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/9547]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陶新昕. 新型真空微电子压力传感器的研制[D]. 中国科学院电子学研究所. 中国科学院电子学研究所. 1998. |
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