基于SU8厚胶制备折叠波导工艺研究 | |
马天军,郝保良,刘濮鲲 | |
2013 | |
会议名称 | 第十五届全国特种加工学术会议 |
会议日期 | 2013 |
会议地点 | 中国 |
内容类型 | 会议论文 |
源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/10047] ![]() |
专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_会议论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 马天军,郝保良,刘濮鲲. 基于SU8厚胶制备折叠波导工艺研究[C]. 见:第十五届全国特种加工学术会议. 中国. 2013. |
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