| Design and Fabrication of a Novel Closed-loop SOI MEMS Resonant Electrostatic Field Sensor | |
| Peng CR(彭春荣) ; Yang PF(杨鹏飞) ; Zhang HY(张海岩) | |
| 2011-06-03 | |
| 会议名称 | The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology(APCOT2010) |
| 会议日期 | 2010-07-06 |
| 会议地点 | 澳大利亚 |
| 通讯作者 | 彭春荣 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/7495]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Peng CR,Yang PF,Zhang HY. Design and Fabrication of a Novel Closed-loop SOI MEMS Resonant Electrostatic Field Sensor[C]. 见:The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology(APCOT2010). 澳大利亚. 2010-07-06. |
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