Design and Fabrication of a Novel Closed-loop SOI MEMS Resonant Electrostatic Field Sensor | |
Peng CR(彭春荣) ; Yang PF(杨鹏飞) ; Zhang HY(张海岩) | |
2011-06-03 | |
会议名称 | The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology(APCOT2010) |
会议日期 | 2010-07-06 |
会议地点 | 澳大利亚 |
通讯作者 | 彭春荣 |
内容类型 | 会议论文 |
源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/7495] ![]() |
专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_会议论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Peng CR,Yang PF,Zhang HY. Design and Fabrication of a Novel Closed-loop SOI MEMS Resonant Electrostatic Field Sensor[C]. 见:The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology(APCOT2010). 澳大利亚. 2010-07-06. |
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