| 一种生化传感器芯片及制备工艺方法 | |
| 夏善红 ; 汪祖民 ; 韩泾鸿 | |
| 2010-12-24 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院电子学研究所 |
| 中文摘要 | 本发明公开一种差分结构生化传感器芯片，第一延长栅和第二延长栅具有两种敏感性质的聚吡咯层，第一延长栅、准参比电极及第二延长栅分别与各压焊块相连。本发明公开的方法用电化学法聚合得到第一延长栅上生长pH敏感的第一聚吡咯层、第二延长栅上生长pH钝化的第二聚吡咯层；准参比电极的第三铝层由标准CMOS工艺在加工芯片时沉积，第三铂层采用磁控溅射法沉积生长在第三铝层上。采用多晶硅栅标准工艺流片实现差分结构离子敏场效应晶体管芯片。在后续工艺中制备pH敏感层与pH钝化层的方法，解决目前因采用不同材料作为pH敏感层与pH钝化层 |
| 公开日期 | 2009-05-13 ; 2010-12-24 |
| 申请日期 | 2007 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200710176923.2 |
| 专利代理 | 梁爱荣 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/5395]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 夏善红,汪祖民,韩泾鸿 . 一种生化传感器芯片及制备工艺方法. 2010-12-24. |
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