| 一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器 | |
| 陈德勇 ; 王军波 ; 毋正伟 | |
| 2010-12-24 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院电子学研究所 |
| 中文摘要 | 本发明公开一种基于微电子机械的微结构谐振式传感器，由两个微扭摆谐振器并列放置，微扭摆谐振器上有检测用敏感层膜，另一微扭摆谐振器上有差分检测的非敏感层膜。每个微扭摆谐振器由摆轴和分布在摆轴两边的摆片组成，摆片上布置电磁激励线圈和拾振线圈。注入电流的激励线圈在外加磁场洛伦兹力作用下，产生绕摆轴的扭矩，驱使扭摆的振动，振动信号通过拾振线圈切割磁力线产生的感生电动势拾取，并反馈到激励线圈，形成闭环自激，输出谐振频率。本发明工作于扭转模态，提高了品质因素，差动输出抑制了由于温度等外界因素效应造成的误差，工艺简单，检 |
| 公开日期 | 2008 ; 2010-12-24 |
| 申请日期 | 2007-04-25 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200710098680.5 |
| 专利代理 | 周国城 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/5379]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈德勇,王军波,毋正伟 . 一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器. 2010-12-24. |
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