一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器 | |
陈德勇 ; 王军波 ; 毋正伟 | |
2010-12-24 | |
专利国别 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院电子学研究所 |
中文摘要 | 本发明公开一种基于微电子机械的微结构谐振式传感器,由两个微扭摆谐振器并列放置,微扭摆谐振器上有检测用敏感层膜,另一微扭摆谐振器上有差分检测的非敏感层膜。每个微扭摆谐振器由摆轴和分布在摆轴两边的摆片组成,摆片上布置电磁激励线圈和拾振线圈。注入电流的激励线圈在外加磁场洛伦兹力作用下,产生绕摆轴的扭矩,驱使扭摆的振动,振动信号通过拾振线圈切割磁力线产生的感生电动势拾取,并反馈到激励线圈,形成闭环自激,输出谐振频率。本发明工作于扭转模态,提高了品质因素,差动输出抑制了由于温度等外界因素效应造成的误差,工艺简单,检 |
公开日期 | 2008 ; 2010-12-24 |
申请日期 | 2007-04-25 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | CN200710098680.5 |
专利代理 | 周国城 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/5379] ![]() |
专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_专利 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈德勇,王军波,毋正伟 . 一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器. 2010-12-24. |
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