| 一种导引式风向风速传感器 | |
| 赵 湛 ; 张建刚 | |
| 2010-12-24 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院电子学研究所 |
| 中文摘要 | 本发明公开一种导引式风向风速传感器，包括：上盖板、下挡体、侧挡板、通孔、悬臂梁阵列、应变传感器；利用微电子机械系统(MEMS)技术中的光刻、腐蚀技术制作出上盖板；侧挡板；键合上盖板和侧挡板；在硅片上制作出下挡体、通孔、悬臂梁阵列和应变传感器的图案；溅射制作出应变传感器；腐蚀技术制作出通孔和悬臂梁阵列；键合制作的风向导引组件与风敏感组件两部分。这种传感器的特点是风向风速可以同时测量，并可利用微电子机械系统(MEMS)技术将器件制作得很小，可以小于10毫米×10毫米×10毫米。该传感器可以广泛应用于气象探测、 |
| 公开日期 | 2008 ; 2010-12-24 |
| 申请日期 | 2007-03-21 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200710064605.7 |
| 专利代理 | 周国城 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/5373]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵 湛,张建刚 . 一种导引式风向风速传感器. 2010-12-24. |
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