| 液-液界面磁力辅助的三维微器件自组装方法 | |
| 夏善红 ; 刘 梅 ; 张建刚 ; 吕 曜 | |
| 2010-12-24 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院电子学研究所 |
| 中文摘要 | 本发明一种液-液界面磁力辅助的三维微器件自组装方法，装配过程在液-液界面进行，可将大批量微器件同时装配到基片的组装位置。微器件的自组装，包括基片和微器件的制备、处理和组装环境、方法的选择。对微器件各个表面进行亲水、疏水化处理，使其以特定形态聚集在液-液界面中央，再使基片自上而下垂直通过该液-液界面，微器件会附着在基片表面。通过超声震动，微器件到达与之形状匹配的基片组装位置，利用组装位置的磁性材料的吸引力，使基片与微器件牢固结合。基片依次通过漂浮着不同微器件的不同界面，不同的组装位置通过形状或尺寸识别微器件 |
| 公开日期 | 2007-05-16 ; 2010-12-24 |
| 申请日期 | 2005 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200510086845.8 |
| 专利代理 | 周国城 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/5331]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 夏善红,刘 梅,张建刚,等. 液-液界面磁力辅助的三维微器件自组装方法. 2010-12-24. |
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