一种闭环自激驱动的硅微机械电场传感器

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	一种闭环自激驱动的硅微机械电场传感器
	熊幼芽 ; 彭春荣 ; 夏善红
刊名	电子与信息学报
	2009
卷号	11 期号:31 页码:2776-2780
ISSN号	CN 11-4494/TN
通讯作者	夏善红
学科主题	电子物理学
收录类别	EI核心
公开日期	2010-03-18
内容类型	期刊论文
源URL	[http://159.226.65.12/handle/80137/1333]
专题	电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	熊幼芽,彭春荣,夏善红. 一种闭环自激驱动的硅微机械电场传感器[J]. 电子与信息学报,2009,11(31):2776-2780.
APA	熊幼芽,彭春荣,&夏善红.(2009).一种闭环自激驱动的硅微机械电场传感器.电子与信息学报,11(31),2776-2780.
MLA	熊幼芽,et al."一种闭环自激驱动的硅微机械电场传感器".电子与信息学报 11.31(2009):2776-2780.