基于滤波器稳定的波前编码最优相位掩膜板参数获取方法 | |
赵惠 ; 雷广智 ; 庞志海 | |
2014-01-17 | |
专利号 | CN103760671 |
专利类型 | 发明 |
产权排序 | 1 |
权利人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
中文摘要 | 本发明涉及一种基于滤波器稳定的波前编码最优相位掩膜板参数获取方法,该方法包括:1)以加载相位板后的、离焦量为零的OTF构建复原滤波器2)根据复原滤波器计算出每一个离焦量所对应的光学传递函数的估计并得到光学传递函数的估计与传统系统衍射受限传递函数Hdl之 间的差异,沿离焦参量这一维度求解该差异的均方根误差RMS;3)对均方根误差RMS进行积分获得可量化的目标函数;4)通过全局优化算法进行不断地迭代 寻优,找出考虑了复原滤波这一过程的最优相位板参数。本发明提供了一种不仅能够起到使系统离焦不变的作用,而且也同时能够使复原图像尽可能地接近衍射受限 效果。 |
公开日期 | 2014-04-30 |
申请日期 | 2014-01-17 |
专利申请号 | CN201410022991 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/21714] ![]() |
专题 | 西安光学精密机械研究所_空间光学应用研究室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵惠,雷广智,庞志海. 基于滤波器稳定的波前编码最优相位掩膜板参数获取方法. CN103760671. 2014-01-17. |
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