一种光纤预制棒的掺杂装置 | |
林傲祥 ; 师腾飞 ; 倪立 ; 张爱东 ; 湛欢 ; 李璐 ; 何建丽 ; 周志广 | |
2014-04-23 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | CN203558968 |
专利类型 | 实用新型 |
权利人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
中文摘要 | 本实用新型提供一种光纤预制棒的掺杂装置,其包括加热系统、传输系统和改进的化学气相沉积系统。加热系统包括加热蒸发罐、连通加热蒸发罐的进气导管和出气导管,传输系统包括加热保温传输管和加热保温板,用以通入高纯氧气的氧气管和出气导管分别接入设有相应接口的加热保温传输管中;加热保温传输管的输出端与改进的化学气相沉积系统的旋转部分连通,各个加热蒸发罐内装有不同的有机金属螯合物;其中,至少有一个加热蒸发罐内的有机金属螯合物作为掺杂剂。应用本掺杂装置可以实现全气相掺杂,全程保温,使气体不易凝结,使用本实用新型的掺杂方法使得产品的掺杂均匀性、一致性均有提高,产品的性能也得到相应的保证。 |
公开日期 | 2014-04-23 |
申请日期 | 2013-07-22 |
专利申请号 | CN201320437525 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/21606] ![]() |
专题 | 西安光学精密机械研究所_瞬态光学技术国家重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 林傲祥,师腾飞,倪立,等. 一种光纤预制棒的掺杂装置. CN203558968. 2014-04-23. |
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