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	正切驱动式微秒级高精度角度调节机构
	江波 ; 周泗忠 ; 韩俊锋 ; 赵相国 ; 邓小国
	2013-02-06
专利国别	中国
专利号	CN103163905
专利类型	发明
权利人	中国科学院西安光学精密机械研究所
中文摘要	本发明提供了一种正切驱动式微秒级高精度角度调节机构，以满足对同步辐射双晶单色器中两晶体的投角、滚角和摆角的微秒级无间隙动态调节，从而提供实验所需的高质量同步辐射光。本发明采用柔性铰链连接上板与下板形成调节机构旋转的柔性关节；上板、柔性铰链和下板把直线位移进给机构的微小移动转换为下板的角度微小偏转；采用弹簧复位机构给调节机构提供复位偏转力；当直线位移器前进一定距离时，直线微位移器提供的推力与弹簧压力和使柔性铰链产生偏转的力形成平衡力系，柔性铰链带动下板产生正向偏转；当直线微位移器后退时，弹簧的压力与直线位移器提供的推力和使柔性铰链产生偏转的力形成平衡力系，柔性铰链带动下板产生负向偏转。
公开日期	2013-06-19
申请日期	2013-02-06
专利申请号	CN201310049069
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/21351]
专题	西安光学精密机械研究所_光电测量技术实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	江波,周泗忠,韩俊锋,等. 正切驱动式微秒级高精度角度调节机构. CN103163905. 2013-02-06.

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