| 题名 | 用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器 |
| 作者 | 赵晖 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2014-05-30 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 杨晋玲 |
| 关键词 | 参考频率源 MEMS 谐振器 高阶谐振模态 振荡器 温度补偿 |
| 学位专业 | 微电子与固体电子学 |
| 学科主题 | 半导体器件 |
| 公开日期 | 2014-06-03 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25098]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵晖. 用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器[D]. 北京. 中国科学院大学. 2014. |
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