题名提高植入式硅神经微电极一致性的方法及工艺研究
作者赵珊珊
学位类别硕士
答辩日期2014-05-24
授予单位中国科学院研究生院
授予地点北京
导师裴为华
学位专业电子与通信工程
学科主题半导体材料 ; 半导体器件 ; 光电子学 ; 微电子学
公开日期2014-05-27
内容类型学位论文
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25016]  
专题半导体研究所_光电子研究发展中心
推荐引用方式
GB/T 7714
赵珊珊. 提高植入式硅神经微电极一致性的方法及工艺研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2014.
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