游标狭缝式光电自准直仪 | |
刘爱敏 ; 高立民 ; 吴易明 | |
2013-01-09 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | CN102865835 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
中文摘要 | 本发明了提供一种精度高、可靠性好的游标狭缝式光电自准直仪。该游标狭缝式光电自准直仪,包括在主光路上依次设置的单色光源(1)、多狭缝(2)、分光镜(3)、准直物镜(4)、可转动的平面反射镜(5)以及在分光镜分光光路上设置的线阵CCD(6),多狭缝(2)与线阵CCD(6)共轭;所述多狭缝(2)由多个平行单狭缝组成,各平行单狭缝缝宽与缝间距均相等;以线阵CCD作为主尺,多狭缝(2)的像作为游标尺,游标尺与主尺满足游标细分原理。本发明可广泛应用于高精度小角度精度测试,反射镜动静态小角度误差高精度测量、角位移传感器角度标校、光学平面冷加工件的小角度测量等。 |
公开日期 | 2014-05-20 |
申请日期 | 2012-09-29 |
专利申请号 | CN201210380004 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/21163] |
专题 | 西安光学精密机械研究所_光学定向与测量技术研究室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘爱敏,高立民,吴易明. 游标狭缝式光电自准直仪. CN102865835. 2013-01-09. |
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