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	Thermodynamic and dynamic analyses of GaAs MOVPE process
	Yang Hui, Liang Junwu, Deng Lishen, Zeng Lianxi , Zhang Xia
	1992
会议名称	the first pacific rim international conference on advanced materials and processing
会议日期	1992
会议地点	tms, warrendale, pa.
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24949]
专题	半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前）
推荐引用方式 GB/T 7714	Yang Hui, Liang Junwu, Deng Lishen, Zeng Lianxi , Zhang Xia. Thermodynamic and dynamic analyses of GaAs MOVPE process[C]. 见:the first pacific rim international conference on advanced materials and processing. tms, warrendale, pa.. 1992.

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