机器人化微纳操作研究进展 | |
于鹏![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() | |
刊名 | 科学通报
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2013 | |
卷号 | 58期号:S2页码:28-39 |
关键词 | 纳米操作 原子力显微镜 探针定位 虚拟夹具 |
ISSN号 | 0023-074X |
其他题名 | Research progress of robotics based micro/nano-manipulation |
产权排序 | 1 |
中文摘要 | 微纳操作技术是在微/纳米尺度上制造具有特定功能结构与器件的方法,该技术获得广泛的关注和研究.本文阐述了微纳操作的概念、意义,介绍微纳操作的相关技术,以基于原子力显微镜(AFM)的机器人化微纳操作技术为重点,回顾AFM微纳操作的发展历程,探讨AFM探针定位与操作等关键技术问题,并提出相应的解决方案,最后对当前微纳操作中关注的几个关键技术问题进行了展望. |
英文摘要 | Micro/nano-nanomanipulation technology is fabricating particular constructs and devices at micro/nano-scale, and has attracted wide attention and research. The paper represents the conception and significance of nano-manipuations, introduces the relevant technologies, reviews the research progress of atomic force microscopy (AFM) based nano-manipulation by focusing on the robotics based micro/nano-manipulation, discusses the critical techniques such as AFM based tip positioning and nanomanipulation, then proposes corresponding solutions, and finally prospects several concerned key techniques. |
资助信息 | 国家自然科学基金(61175103,61305125);国家博士后基金(2013M530955);中国科学院-国家外国专家局创新团队国际合作伙伴计划资助 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.sia.ac.cn/handle/173321/14690] ![]() |
专题 | 沈阳自动化研究所_机器人学研究室 |
通讯作者 | 刘连庆 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 于鹏,王越超,席宁,等. 机器人化微纳操作研究进展[J]. 科学通报,2013,58(S2):28-39. |
APA | 于鹏,王越超,席宁,于海波,焦念东,&刘连庆.(2013).机器人化微纳操作研究进展.科学通报,58(S2),28-39. |
MLA | 于鹏,et al."机器人化微纳操作研究进展".科学通报 58.S2(2013):28-39. |
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