机器人化微纳操作研究进展

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	机器人化微纳操作研究进展
	于鹏; 王越超; 席宁; 于海波; 焦念东; 刘连庆
刊名	科学通报
	2013
卷号	58 期号:S2 页码:28-39
关键词	纳米操作原子力显微镜探针定位虚拟夹具
ISSN号	0023-074X
其他题名	Research progress of robotics based micro/nano-manipulation
产权排序	1
中文摘要	微纳操作技术是在微/纳米尺度上制造具有特定功能结构与器件的方法,该技术获得广泛的关注和研究.本文阐述了微纳操作的概念、意义,介绍微纳操作的相关技术,以基于原子力显微镜(AFM)的机器人化微纳操作技术为重点,回顾AFM微纳操作的发展历程,探讨AFM探针定位与操作等关键技术问题,并提出相应的解决方案,最后对当前微纳操作中关注的几个关键技术问题进行了展望.
英文摘要	Micro/nano-nanomanipulation technology is fabricating particular constructs and devices at micro/nano-scale, and has attracted wide attention and research. The paper represents the conception and significance of nano-manipuations, introduces the relevant technologies, reviews the research progress of atomic force microscopy (AFM) based nano-manipulation by focusing on the robotics based micro/nano-manipulation, discusses the critical techniques such as AFM based tip positioning and nanomanipulation, then proposes corresponding solutions, and finally prospects several concerned key techniques.
资助信息	国家自然科学基金(61175103,61305125);国家博士后基金(2013M530955);中国科学院-国家外国专家局创新团队国际合作伙伴计划资助
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sia.ac.cn/handle/173321/14690]
专题	沈阳自动化研究所_机器人学研究室
通讯作者	刘连庆
推荐引用方式 GB/T 7714	于鹏,王越超,席宁,等. 机器人化微纳操作研究进展[J]. 科学通报,2013,58(S2):28-39.
APA	于鹏,王越超,席宁,于海波,焦念东,&刘连庆.(2013).机器人化微纳操作研究进展.科学通报,58(S2),28-39.
MLA	于鹏,et al."机器人化微纳操作研究进展".科学通报 58.S2(2013):28-39.