非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器(发明) | |
张勇 ; 李烨平 | |
2012-06-06 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | CN201010120779.2 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 |
中文摘要 | 非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器,被检测的各子镜镜面安装在支撑系统的桁架上,其特征在于,在所述支撑系统的桁架上设置有一个基准板,在该基准板对着子镜的一面、与子镜镜面对应的位置上,安装有电容极板;同时,将对应的被检测子镜镜面的反射金属膜层或者金属镜面本身,作为电容的另一个极板;将该两个电容极板与电容位移传感器的检测电路连接。本发明能直接实现拼接镜面高低差检测。具有原理清晰明了、结构紧凑、工艺简单和高低差检测精度高等优点;相对于传统经典的传感器,能直接、非接触地获得镜面高低差,不引入其它杂散光。本发明适用于各种光学或者射电系统的镜面高低差检测。 |
学科主题 | 主动光学 |
公开日期 | 2010-12-22 |
申请日期 | 2010-03-09 |
专利申请号 | CN201010120779.2 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/253] ![]() |
专题 | 南京天文光学技术研究所_中科院南京天光所知识成果_专利 南京天文光学技术研究所_望远镜新技术研究室_专利 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张勇,李烨平. 非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器(发明). CN201010120779.2. 2012-06-06. |
个性服务 |
查看访问统计 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论