| 在硅基底上制备二氧化钛或二氧化锆微图案方法 | |
| 陈淼 ; 梁山 | |
| 2010-06-16 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | 200710307722.1 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明公开了一种在硅基底上制备二氧化钛或二氧化锆微图案方法。本发明以廉价的无机盐水溶液作为原料来替代传统的金属醇盐，以化学沉积法制得了图案化的二氧化钛、二氧化锆的无机物薄膜。紫外光照使得硅表面荷正电，抑制了无机物在该区域的沉积。所得到的氧化物图案为负相图案。该方法未对表面进行任何修饰，在完全亲水的表面上即可获得图案，具有操作简单，成本低廉的优点，且拓展了光电效应在图案化领域的应用。 |
| 学科主题 | 材料科学与物理化学 |
| 公开日期 | 2014-03-20 |
| 申请日期 | 2007-12-13 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN101459053 |
| 专利代理 | 方晓佳 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/5384]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈淼,梁山. 在硅基底上制备二氧化钛或二氧化锆微图案方法. 200710307722.1. 2010-06-16. |
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