离轴自由曲面三镜反射系统的装调技术

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	离轴自由曲面三镜反射系统的装调技术
	王超 ; 张新 ; 王灵杰 ; 张建萍 ; 张继真
刊名	光学学报
	2013-12-10
期号	12 页码:76-82
关键词	光学设计离轴自由曲面装调基准计算全息计算机辅助装调修正泽尼克多项式
中文摘要	针对离轴自由曲面三镜反射系统,采用了基准传递技术和计算机辅助装调技术相结合的装调方法。基准传递过程中基于计算全息建立了一套完整、精确的空间基准来保证初装调质量;在此基础上,计算机辅助装调过程中采用自准干涉检验法获得多个视场干涉图,像差用方形域上正交修正泽尼克多项式系数表征,利用Zemax软件和方形域上正交修正泽尼克多项式得到系统的灵敏度矩阵,求解失调量;在多次迭代后得到系统平均波像差均方根值为0.1641λ(λ=632.8nm),调制传递函数平均值为0.4534。
收录类别	CNKI
语种	中文
公开日期	2014-03-07
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/39019]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王超,张新,王灵杰,等. 离轴自由曲面三镜反射系统的装调技术[J]. 光学学报,2013(12):76-82.
APA	王超,张新,王灵杰,张建萍,&张继真.(2013).离轴自由曲面三镜反射系统的装调技术.光学学报(12),76-82.
MLA	王超,et al."离轴自由曲面三镜反射系统的装调技术".光学学报 .12(2013):76-82.