月基极紫外相机多层膜反射镜

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	月基极紫外相机多层膜反射镜
	刘震 ; 高劲松 ; 陈波 ; 王彤彤 ; 王笑夷 ; 申振峰 ; 陈红
刊名	光谱学与光谱分析
	2013-01-15
期号	01 页码:283-286
关键词	极紫外多层膜反射镜磁控溅射反射率等离子体层
中文摘要	月基极紫外相机用于月球表面对地球等离子体层辐射出的30.4nm谱线进行成像观测,多层膜反射镜是月基极紫外相机的重要光学元件。根据月基极紫外相机技术参数,选择了B4C/Mg,B4C/Mg2Si,B4C/Al,B4C/Si,Mo/Si等材料,对其周期厚度、材料比例、周期数等参数进行优化。计算了以上材料组合在30.4nm的反射率曲线。考虑到月球环境的特殊性和材料的物理化学性质,从中选择出Mo/Si和B4C/Si两种组合,利用磁控溅射进行镀制。Mo/Si和B4C/Si多层膜在30.4nm反射率分别达到15.3%和22.8%。
收录类别	CNKI
语种	中文
公开日期	2014-03-07
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38813]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	刘震,高劲松,陈波,等. 月基极紫外相机多层膜反射镜[J]. 光谱学与光谱分析,2013(01):283-286.
APA	刘震.,高劲松.,陈波.,王彤彤.,王笑夷.,...&陈红.(2013).月基极紫外相机多层膜反射镜.光谱学与光谱分析(01),283-286.
MLA	刘震,et al."月基极紫外相机多层膜反射镜".光谱学与光谱分析 .01(2013):283-286.