衍射光栅机械刻划成槽的预控试验

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	衍射光栅机械刻划成槽的预控试验
	张宝庆 ; 史国权 ; 石广丰 ; 蔡洪彬 ; 张善文
刊名	光学精密工程
	2013-07-15
期号	07 页码:1666-1675
关键词	衍射光栅机械刻划成槽工艺预控技术
中文摘要	由于目前机械刻划衍射光栅加工仍依赖操作者经验,故存在成槽质量差、无法预控等问题。本文结合铝薄膜蒸镀工艺现状,采用X射线衍射法(XRD)、扫描电子显微镜法(SEM)及纳米压痕实验揭示不同薄膜样本的微观结构与力学属性,提出了制作衍射光栅的薄膜分类试刻法。研究结果表明,光栅刻划过程可近似等效为楔体下压过程,对低弹性模量类薄膜,可采用滑移线场进行解析求解并一次试刻成槽;对弹塑性类薄膜,可采用有限元模拟实验进行成槽预控。该方法可预先对薄膜甄别分类,用不同的计算方法确定不同种类薄膜的工装参数,进而刻划出近乎完美的槽形;同时减少了试验刻划耗时与浪费,提高了成槽质量与刻划效率;为刻划更加精密的光栅奠定了基础。
收录类别	CNKI
语种	中文
公开日期	2014-03-07
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38807]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	张宝庆,史国权,石广丰,等. 衍射光栅机械刻划成槽的预控试验[J]. 光学精密工程,2013(07):1666-1675.
APA	张宝庆,史国权,石广丰,蔡洪彬,&张善文.(2013).衍射光栅机械刻划成槽的预控试验.光学精密工程(07),1666-1675.
MLA	张宝庆,et al."衍射光栅机械刻划成槽的预控试验".光学精密工程 .07(2013):1666-1675.