超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析

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	超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析
	高飒飒 ; 卢启鹏 ; 彭忠琦 ; 龚学鹏
刊名	光学精密工程
	2013-07-15
期号	07 页码:1741-1747
关键词	X射线干涉光刻光束线精密狭缝四刀结构重复精度有限元分析
中文摘要	针对上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线对狭缝精度的要求,提出了一种应用于超高真空的精密四刀狭缝机构及热缓释方案。给出了四刀狭缝机构的工作原理,其四个缝片独立运动,采用线性驱动装置及精密直线导轨来实现开合。根据XIL光束线的特点,设计了一种合理有效的热缓释方案,对缝片进行了热-结构耦合分析。对狭缝的精度指标进行了测试。结果显示:该四刀狭缝的分辨率优于0.1μm、运动重复精度优于2μm、刀口直线度优于2.5μm、平行度优于0.5mrad,可以精确实现狭缝在水平和垂直方向-5～250μm的开度,缝片在热负载下的最大热变形控制在0.034μm。得到的结果表明,该精密四刀狭缝具有高的精度和稳定性,可满足XIL光束线的使用要求,现已实际使用并制备出了100nm周期的刻蚀线结构。
收录类别	CNKI
语种	中文
公开日期	2014-03-07
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38779]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	高飒飒,卢启鹏,彭忠琦,等. 超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析[J]. 光学精密工程,2013(07):1741-1747.
APA	高飒飒,卢启鹏,彭忠琦,&龚学鹏.(2013).超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析.光学精密工程(07),1741-1747.
MLA	高飒飒,et al."超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析".光学精密工程 .07(2013):1741-1747.