Ritchey角精度对平面镜检测的影响的分析与验证 | |
朱硕 ; 张晓辉 | |
刊名 | 光学学报
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2013-06-10 | |
期号 | 06页码:95-102 |
关键词 | 测量 光学检测 Ritchey-Common 大口径平面镜 检测精度 |
中文摘要 | 为进一步提高Ritchey-Common法的检测精度,分析了实验中Ritchey角精度对整体检测结果的影响。通过仿真模拟,分析并确定出最佳Ritchey角测试范围在20°~50°之间,此时面形误差检测结果精度可达0.01λ(λ=0.6328μm)。仿真过程中模拟Ritchey角存在误差时对检测结果的影响,当Ritchey角误差控制在±1°时,拟合结果与原始面形的残差降至0.0007λ,能够满足测试要求。针对Ritchey角测量存在误差的问题,利用测得系统光瞳面的图像压缩比例来计算Ritchey角大小,此方法的计算误差可控制在0.2°以内。实验中选择3个角度来检测,在数据处理时将测得数据两两组合进行解算。29.6°&47.8°组合拟合结果与Zygo干涉仪直接检测结果的残差的峰谷(PV)值为0.068λ、均方根(RMS)值为0.0105λ,证明Ritchey角的选择及其计算精度对检测整体精度具有一定影响。 |
收录类别 | CNKI |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2014-03-07 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38757] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱硕,张晓辉. Ritchey角精度对平面镜检测的影响的分析与验证[J]. 光学学报,2013(06):95-102. |
APA | 朱硕,&张晓辉.(2013).Ritchey角精度对平面镜检测的影响的分析与验证.光学学报(06),95-102. |
MLA | 朱硕,et al."Ritchey角精度对平面镜检测的影响的分析与验证".光学学报 .06(2013):95-102. |
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