Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究

	Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究
	赵永蓬 ; 徐强 ; 肖德龙 ; 丁宁 ; 谢耀 ; 李琦 ; 王骐
刊名	物理学报
	2013-12-23
期号	24 页码:219-225
关键词	极紫外光刻光源毛细管放电磁流体力学 Xe等离子体
中文摘要	理论和实验上研究了Xe介质毛细管放电极紫外光源等离子体时间特性和最佳条件.从理论上建立了Xe介质一维辐射磁流体力学模型,模拟了不同气压和电流条件下等离子体压缩和辐射特性;实验上测量了放电电流30 kA时不同气压条件下13.5 nm(2%带宽)动态特性.理论和实验结果表明:不同放电电流条件下,存在最佳气压值,最佳气压随着电流的增加而增加;同时,电流增加时,13.5 nm(2%带宽)辐射光强峰值时刻减小.
收录类别	CNKI
语种	中文
公开日期	2014-03-07
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38713]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	赵永蓬,徐强,肖德龙,等. Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究[J]. 物理学报,2013(24):219-225.
APA	赵永蓬.,徐强.,肖德龙.,丁宁.,谢耀.,...&王骐.(2013).Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究.物理学报(24),219-225.
MLA	赵永蓬,et al."Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究".物理学报 .24(2013):219-225.