大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究

	大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究
	陈赟 ; 张红胜 ; 李艳茹
刊名	长春理工大学学报(自然科学版)
	2013-06-15
期号	Z1 页码:10-12
关键词	玻璃网格板计量圆光栅制作工艺光刻胶刻线间距
中文摘要	玻璃网格板是一种相互垂直的纵、横刻线的二维线纹标准器,用来检测航测仪器、遥感仪器和各类二维坐标测量仪器的精度,因此,它的精度直接影响待检仪器的精度。结合计量圆光栅的制作工艺,详细介绍了基于光刻胶的玻璃网格板新型制作工艺,检验结果表明该种工艺制作的玻璃网格板线条均匀,280mm内刻线间距精度小于1μm。
收录类别	CNKI
语种	中文
公开日期	2014-03-07
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38461]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	陈赟,张红胜,李艳茹. 大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究[J]. 长春理工大学学报(自然科学版),2013(Z1):10-12.
APA	陈赟,张红胜,&李艳茹.(2013).大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究.长春理工大学学报(自然科学版)(Z1),10-12.
MLA	陈赟,et al."大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究".长春理工大学学报(自然科学版) .Z1(2013):10-12.