环境气氛对类金刚石薄膜摩擦学行为的影响 | |
王立平![]() ![]() | |
刊名 | 材料科学与工程学报
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2005 | |
卷号 | 23期号:5页码:595-597 |
关键词 | DLC薄膜 气氛 摩擦系数 转移层 DLC films atmospheres friction coefficient transfer layer |
ISSN号 | 1673-2812 |
中文摘要 | 用射频等离子体化学气相沉积法(RF-PECVD)制备了含氢类金刚石薄膜(DLC)。采用表面轮廓仪和纳米压痕仪分别测量膜的厚度和硬度。通过控制摩擦环境气氛对DLC 薄膜和钢球对磨的摩擦系数进行了系统研究。利用光学显微镜和扫描电镜(SEM) 分析了磨痕及磨斑的形貌, 对DLC 薄膜在不同气氛下的摩擦现象进行了表征和解释。结果表明, DLC 薄膜的摩擦学行为与气氛中的O2 、H2O 和N2 有关, 其中N2 的存在是DLC 薄膜具有超低摩擦系数的重要原因。 |
学科主题 | 材料科学与物理化学 |
收录类别 | CSCD |
资助信息 | 国家自然科学基金资助项目(50323007;50172052;501751505);国家863资助项目(2003AA305670);中国科学院“百人计划”资助项目 |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:2034958 |
公开日期 | 2014-03-03 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/5270] ![]() |
专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王立平,李红轩. 环境气氛对类金刚石薄膜摩擦学行为的影响[J]. 材料科学与工程学报,2005,23(5):595-597. |
APA | 王立平,&李红轩.(2005).环境气氛对类金刚石薄膜摩擦学行为的影响.材料科学与工程学报,23(5),595-597. |
MLA | 王立平,et al."环境气氛对类金刚石薄膜摩擦学行为的影响".材料科学与工程学报 23.5(2005):595-597. |
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