环境气氛对类金刚石薄膜摩擦学行为的影响

CORC > 兰州化学物理研究所 > 中国科学院兰州化学物理研究所 > 固体润滑国家重点实验室

	环境气氛对类金刚石薄膜摩擦学行为的影响
	王立平; 李红轩
刊名	材料科学与工程学报
	2005
卷号	23 期号:5 页码:595-597
关键词	DLC薄膜气氛摩擦系数转移层 DLC films atmospheres friction coefficient transfer layer
ISSN号	1673-2812
中文摘要	用射频等离子体化学气相沉积法(RF-PECVD)制备了含氢类金刚石薄膜(DLC)。采用表面轮廓仪和纳米压痕仪分别测量膜的厚度和硬度。通过控制摩擦环境气氛对DLC 薄膜和钢球对磨的摩擦系数进行了系统研究。利用光学显微镜和扫描电镜(SEM) 分析了磨痕及磨斑的形貌, 对DLC 薄膜在不同气氛下的摩擦现象进行了表征和解释。结果表明, DLC 薄膜的摩擦学行为与气氛中的O2 、H2O 和N2 有关, 其中N2 的存在是DLC 薄膜具有超低摩擦系数的重要原因。
学科主题	材料科学与物理化学
收录类别	CSCD
资助信息	国家自然科学基金资助项目(50323007;50172052;501751505);国家863资助项目(2003AA305670);中国科学院“百人计划”资助项目
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:2034958
公开日期	2014-03-03
内容类型	期刊论文
源URL	[http://210.77.64.217/handle/362003/5270]
专题	兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	王立平,李红轩. 环境气氛对类金刚石薄膜摩擦学行为的影响[J]. 材料科学与工程学报,2005,23(5):595-597.
APA	王立平,&李红轩.(2005).环境气氛对类金刚石薄膜摩擦学行为的影响.材料科学与工程学报,23(5),595-597.
MLA	王立平,et al."环境气氛对类金刚石薄膜摩擦学行为的影响".材料科学与工程学报 23.5(2005):595-597.