相对湿度对类金刚石薄膜摩擦磨损性能的影响

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	相对湿度对类金刚石薄膜摩擦磨损性能的影响
	李红轩
刊名	摩擦学学报
	2005
卷号	25 期号:5 页码:426-430
关键词	类金刚石薄膜摩擦磨损性能相对湿度 DLC film friction and wear behavior humidity
ISSN号	1004-0595
通讯作者	徐洮
中文摘要	利用等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了含氢类金刚石薄膜, 在球-盘摩擦磨损试验机上考察了相对湿度对薄膜摩擦磨损性能的影响, 利用扫描电子显微镜和X 射线光电子能谱仪观察和分析其磨损表面形貌和化学状态的变化情况. 结果表明, 随着相对湿度增加, DLC 薄膜的摩擦系数和磨损率增加. 这主要是由于薄膜表面氧化作用所致.
学科主题	材料科学与物理化学
收录类别	EI ; CSCD
资助信息	国家自然科学基金资助项目(50323007);国家863计划资助项目(2003AA305670)
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:2166171
公开日期	2014-03-03
内容类型	期刊论文
源URL	[http://210.77.64.217/handle/362003/5199]
专题	兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	李红轩. 相对湿度对类金刚石薄膜摩擦磨损性能的影响[J]. 摩擦学学报,2005,25(5):426-430.
APA	李红轩.(2005).相对湿度对类金刚石薄膜摩擦磨损性能的影响.摩擦学学报,25(5),426-430.
MLA	李红轩."相对湿度对类金刚石薄膜摩擦磨损性能的影响".摩擦学学报 25.5(2005):426-430.