溅射负离子源靶的制作与使用

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	溅射负离子源靶的制作与使用
	徐天冰 ; 周俊思 ; 邱长青 ; 朱沛然
刊名	核技术
	1993
期号	9 页码:567-570
语种	中文
公开日期	2013-09-23
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/48965]
专题	物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	徐天冰,周俊思,邱长青,等. 溅射负离子源靶的制作与使用[J]. 核技术,1993(9):567-570.
APA	徐天冰,周俊思,邱长青,&朱沛然.(1993).溅射负离子源靶的制作与使用.核技术(9),567-570.
MLA	徐天冰,et al."溅射负离子源靶的制作与使用".核技术 .9(1993):567-570.