光荧光法测定硅中磷、硼含量

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	光荧光法测定硅中磷、硼含量
	孟庆惠 ; 于鲲 ; 李永康 ; 许振嘉 ; 陈廷杰 ; 吴灵犀 ; 徐寿定
刊名	半导体学报
	1983
期号	1 页码:86-89
语种	中文
公开日期	2013-09-23
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/48609]
专题	物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	孟庆惠,于鲲,李永康,等. 光荧光法测定硅中磷、硼含量[J]. 半导体学报,1983(1):86-89.
APA	孟庆惠.,于鲲.,李永康.,许振嘉.,陈廷杰.,...&徐寿定.(1983).光荧光法测定硅中磷、硼含量.半导体学报(1),86-89.
MLA	孟庆惠,et al."光荧光法测定硅中磷、硼含量".半导体学报 .1(1983):86-89.