光荧光法测定硅中磷、硼含量 | |
孟庆惠 ; 于鲲 ; 李永康 ; 许振嘉 ; 陈廷杰 ; 吴灵犀 ; 徐寿定 | |
刊名 | 半导体学报
![]() |
1983 | |
期号 | 1页码:86-89 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2013-09-23 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/48609] ![]() |
专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 孟庆惠,于鲲,李永康,等. 光荧光法测定硅中磷、硼含量[J]. 半导体学报,1983(1):86-89. |
APA | 孟庆惠.,于鲲.,李永康.,许振嘉.,陈廷杰.,...&徐寿定.(1983).光荧光法测定硅中磷、硼含量.半导体学报(1),86-89. |
MLA | 孟庆惠,et al."光荧光法测定硅中磷、硼含量".半导体学报 .1(1983):86-89. |
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